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13BF-3M6L精密双面平面研磨机 13BF-3M6P精密双面平面抛光机

详细说明

一、主要用途

主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其对于超薄工件的加工具有明显的优势。

二、产品特点

1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

2、上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式;

3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传动;

4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;

5、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷;

6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能。

三、技术参数

序号
项目 规格参数
1 下盘 尺寸 Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
转速 3-45 rpm
驱动电机 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
2 上盘 尺寸 Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
转速 3-30 rpm
驱动电机 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm
3 游星轮 参数 节距:15.7 Z=64
数量 6个
4 太阳轮 转速 0-20 rpm
驱动电机 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
5 精度指标 上、下盘平面度 ≤0.015mm
下盘端跳 ≤0.02mm
6 加工范围 最大加工尺寸 Φ280mm
最小加工厚度 0.15mm(≤2"片)
整盘承载量 18×6=108片(2" 圆片)
7 水源   纯水或自来水
8 电源 功率 14kW AC380V 50Hz
线缆规格 三相五线刮.3×4mm2+2×2.5mm2
9 气源 压力 压缩空气源0.5-0.6Mpa
接管口径 接口Φ10mm(外径)
10 外形尺寸   长×宽×高:1650mm×1300mm×2500mm
11 重量   约3000Kg

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