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18BF-4M9L精密双面平面研磨机 18BF-4M9P精密双面平面抛光机

详细说明

一、主要用途

主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光,尤其对于超薄工件的加工具有明显的优势。

二、产品特点

1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

2、上盘减震装置:动静态均适用的减震弹性连接方式;

3、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;

4、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷;

5、上、下盘水冷系统:上、下盘采用水冷结构,进行温度控制实现大压力加工;

6、上盘压力:最大1000kg;

7、传动系统:四电机同步拖动,上下盘、内齿、外齿、(即可正转,也可反转)转速可任意设定,县有配方功能。

三、技术参数

序号
项目 规格参数
1 下盘 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
Φ12660mm×Φ700mm×90mm(抛光)
转速 5-70 rpm
驱动电机 15kW AC380V 50Hz 1460rpm
2 上盘 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
Φ1260mm×Φ700mm×90mm(抛光)
转速 3-40 rpm
驱动电机 11kW AC380V 50Hz 1460rpm
3 游星轮 参数 节距:15.7 Z=64
数量 9个
4 太阳轮 转速 3-35 rpm
驱动电机 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm
5 齿圈 转速 3-35 rpm
驱动电机 4kW AC380V 50Hz 1400rpm
升降电机 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm
升降行程 30mm
6 精度指标 上、下盘平面度 ≤0.02mm
下盘端跳 ≤0.03mm
7 加工范围 最大加工尺寸 Φ280mm
最小加工厚度 0.20mm(≤2"片)
整盘承载量 18×9=162片(2" 圆片)
8 水源   纯水或自来水
9 电源 功率 34kW AC380V 50Hz
线缆规格 三相五线刮.3×10mm2+2×6mm2
9 气源 压力 压缩空气源0.5-0.6Mpa
接管口径 接口Φ10mm(外径)
10 外形尺寸   长×宽×高:2100mm×1600mm×3013mm(含地脚80)
11 重量   约7500Kg

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