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S-16BF-2M5P精密双面平面抛光机

详细说明

一、产品用途

光学玻璃、陶瓷、电子材料及硅片、锗片、计算机磁盘基片等金属、非金属等硬脆材料的双面高精度抛光加工,尤其对于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密抛光加工具有明显的优势。

二、主要特点

1.压力精密控制:PLC+PT +低摩擦气缸实现精密压力控制;

2.上盘减震装置:动静态均适用的减振弹性连接方式;

3.精密传动系统:高精度全齿轮传动,高精度轴承支撑;

4.下盘支撑:高精度结构轴承支撑,提高设备的精度和运行平稳性;

5.免维护:关键器件采用国产优质品牌,冗余设计安全系数大;

6.强制散热系统:采用轴流风机排热方式,并预留抽风接口,用户可自行连接

7.操作便捷:低台面、半裸式接液盆便于清洗;下盘具有气动升降功能,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求

三、技术参数

序号

项目

规格参数

1

下抛盘

尺寸

φ1155mm×φ348mm×50mm

 

 

转速

3-60rpm

2

上抛盘

尺寸

φ1155mm×φ348mm×50mm

3

上下盘驱动电机

15kW  AC380V  50Hz 1460rpm(变频控制)

4

太阳轮驱动电机

2.2kW  AC380V  50Hz 1420rpm(变频控制)

5

游星轮

参数

英制:DP12   Z=200  α=20°

 

 

数量

5个

6

供液装置

搅拌电机

120W,AC380V

 

 

供液泵

1/4HP  容积约40L(双层)

7

精度指标

下抛盘端面跳动

≤0.05mm

 

 

上、下抛盘平面度

≤0.02mm

8

水源 

纯水或自来水

9

电源

18.5kW  AC380V   50Hz(总功率)

10

线缆规格

三相五线制.3×6mm2+2×4mm2

11

气源

压缩空气源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外径)

12

外形尺寸 

宽x长x高:1550mm×2000mm×2740mm

13

重量

约5500Kg

上一条:15BF-2M6P精密双面平面抛光机 下一条:SP19-5(2.5D/3D)高速弧面棱边精密抛光机

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