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研磨机多样化性能介绍

发布时间:2019-01-11

研磨机上,用白刚玉或金刚砂等配制的研磨液将硅片研磨成具有厚度和光洁度的工艺。有单面研磨和双面研磨两种方式。

为了制备合乎器件和集成电路制作要求的硅片表面,须进行抛光,以除往残留的损坏层并获得厚度的高平整度的镜面硅片。抛光分机械抛光、化学抛光、电子束抛光、离子束抛光,较普遍采用的是化学机械抛光。在抛光过程中,氢氧化钠与硅表面反应天生硅酸钠,通过与二氧化硅胶体的磨削,硅酸钠进进抛光液,两个过程不停顿地同时进行而达到抛光的目的。根据不同要求,可用1次抛光、二次抛光(粗抛光和精抛光)或三次抛光(粗抛光、中间抛光和精抛光)。为满-足大规模集成电路对表面质量和平整度的要求,已有无蜡抛光和无磨料抛光等新-工艺。

用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。研磨机的主要类型有圆盘式研磨机、转轴式研磨机和各研磨机。
①圆盘式研磨机:分单盘和双盘两种,以双盘研磨机应用为普通。
②转轴式研磨机:由正、反向旋转的主轴带动工件或研具(可调式研磨环或研磨棒)旋转,结构比较简单,用于研磨内、外圆柱面。
③专-用研磨机:依被研磨工件的不同,有中-心孔研磨机、钢球研磨机和齿轮研磨机等。

此外,还有一种采用类似无心磨削原理的无心研磨机,用于研磨圆柱形工件。
研磨机具备的多样化性能:
1、抛光机在震动研磨抛光加工进程不损坏0件的原有尺度、形状。
2、抛光机能完成主动化,操作便利,在作业进程中,可随-时检查0件的加工状况。
3、方达双面研磨机选用世界上领-先的螺旋翻滚活动、三元次振荡的原理,使0件与磨具相互研磨到达抛光的作用。
4、A类型的抛光机能够主动将磨料与工件分隔,完成主动选料,节约人工开支。
5、研磨机适用于大批量中、小、尺度0件的研磨抛光加工,节约本钱大概三分之一。

  

上一条:振动研磨机

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